格式：pdf
大?。?span class="single-tag-height">1.8MB
頁數(shù)： 16頁
爐管工藝 引言 IC 行業(yè)所用的爐管目前主要是垂直式的（水平式的已經(jīng)很少用了） ，按使用 壓力不同分為常壓爐管和低壓爐管。常壓爐管主要用于熱氧化制程，熱退火， BPSG熱回流，熱烘烤，合金等諸方面。 低壓爐管則主要用于 LPCVD 沉積工藝， 包括多晶硅的形成，氮化硅的形成， HTO 和 TEOS等；HTO 和 TEOS都是用來 生成二氧化硅的。本篇主要介紹爐管的基本知識(shí)及有關(guān)工藝。 §1. 常壓爐管工藝 硅表面上總是覆蓋著一層二氧化硅，即使是剛剛解理的硅，在室溫下，只要 在空氣中一暴露就會(huì)在表面上形成幾個(gè)原子層的氧化膜。 當(dāng)我們把硅晶片暴露在 高溫且含氧的環(huán)境里一段時(shí)間之后， 硅晶片的表面會(huì)生長(zhǎng) （grow）一層與硅附著 性良好，且具有高度穩(wěn)定的化學(xué)性和電絕緣性的二氧化硅—— SiO2。正因?yàn)槎?化硅具有這樣好的性質(zhì)，它在硅半導(dǎo)體元件中的應(yīng)用非常廣泛。 根據(jù)不同的需要， 二氧化硅被用于
熱門知識(shí)
插塑鋼爐管-
話題： 項(xiàng)目管理xwmnbsl
精華知識(shí)
插塑鋼爐管-
-
話題： 暖通空調(diào)jiana520
最新知識(shí)
插塑鋼爐管-
-
話題： 地產(chǎn)家居wyr1123
-
話題： 地產(chǎn)家居黑土地綠森林
-
話題： 地產(chǎn)家居eyouxie
相關(guān)問答
插塑鋼爐管-
話題： 地產(chǎn)家居6413
-
話題： 裝修工程abc134134134
-
-
-
話題： 裝修工程yanghonggan
插塑鋼爐管相關(guān)專題
- 卡扣一般用什么塑料
- 卡套連接的鋼塑管
- 開冰箱跳閘,插座檢查正常
- 開關(guān)插座的型號(hào)規(guī)格
- 開關(guān)插座規(guī)格尺寸有哪些
- 開關(guān)插座競(jìng)標(biāo)需要什么手續(xù)
- 開關(guān)插座哪個(gè)牌子好
- 開關(guān)插座上的n是什么意思
- 開關(guān)插座面板問題
- 開關(guān)插座名稱問題
- 基于壓電堆驅(qū)動(dòng)器的噴嘴擋板式氣體控制閥
- 電氣工程及其自動(dòng)化特色專業(yè)建設(shè)探索
- 分形DGS單元結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及其在微帶電路中的應(yīng)用
- 磷銨技術(shù)改造五大磷肥工程的建議
- 以大豆油多元醇制備的硬質(zhì)聚氨酯泡沫塑料的性能
- 逆變TIG焊機(jī)接觸引弧電路的設(shè)計(jì)(引弧電路)
- 預(yù)制砌塊(磚、石)擋土墻工程砌體施工安全技術(shù)交底
- 應(yīng)用模糊數(shù)學(xué)理論對(duì)公路工程建設(shè)項(xiàng)目方案的綜合評(píng)價(jià)
- 引嫩工程擴(kuò)建區(qū)土壤水鹽動(dòng)態(tài)與防治土壤鹽堿措施
- 中華華丹雨、污水管道溝槽開挖專項(xiàng)施工方案教學(xué)教材
- 中國(guó)工程圖學(xué)學(xué)會(huì)成立工程與制造系統(tǒng)集成化分會(huì)
- 中國(guó)吹制玻璃行業(yè)市場(chǎng)前景分析預(yù)測(cè)年度報(bào)告(目錄)
- 可替代現(xiàn)有隔熱保溫材料的新型材料
- 醫(yī)院病房樓工程施工裝飾裝修工程施工控制
- 在生活中構(gòu)筑自然——河南天旺園林工程有限公司剪影
- 中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)授予材料熱處理工程師資格人員名單
- 中國(guó)電力井蓋行業(yè)市場(chǎng)前景分析預(yù)測(cè)年度報(bào)告(目錄)