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TEGAL421 等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維 修及調(diào)整 TEGAL421 等離子刻蝕機(jī)射頻電源的電路圖如下： 各部分電路的作用， DC Power Supply Board 板是一塊電源板提供射頻源 工作所需的各路電源，包括電子管工作的高低壓。 OSICLACTOR Board 板提供 射頻源的激勵(lì)信號(hào)， Q1是震蕩管，Q4是推動(dòng)管，Q3,Q2組成脈寬功率調(diào)節(jié)電路。 V1和 V2是兩個(gè)輸出電子管，提供所需的射頻功率。其中 Lv 是低壓變壓器，機(jī) 器一通電，該變壓器就被通電。而 BV 是高壓變壓器，只有在需要射頻輸出時(shí)才 被通電。 Power Coupler 是入射功率和反射功率檢測模塊。主機(jī)背面的電位器 R5 和 R6 用于矯正入射和反射功率的偏差。 Test Port 測試端口用于檢測射頻電 源的工作參數(shù)。 射頻電源的調(diào)整 射頻電源調(diào)整的步驟如下： 1. 關(guān)閉交流電源。 2. 移除射頻電源
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針對(duì)強(qiáng)流雙潘寧離子源等離子體發(fā)生器電源系統(tǒng)的特殊要求,介紹了燈絲電源和弧電源的組成及其作用,并對(duì)其主電路設(shè)計(jì)思路進(jìn)行了相關(guān)的分析。離子源等離子體放電實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該套等離子體電源系統(tǒng)達(dá)到了設(shè)計(jì)指標(biāo)要求。
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