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由于我國(guó)信息技術(shù)飛速發(fā)展和市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)急劇演變,多晶硅的生產(chǎn)技術(shù)也是日益的向前發(fā)展著,而且滲透到人們生活和工作中的各個(gè)方面,已是不可缺少的一部分了.本文根據(jù)多晶硅生產(chǎn)中副產(chǎn)物的的綜合循環(huán)利用,完善升級(jí)沉積工藝以及升級(jí)與創(chuàng)新新型沉積配置對(duì)多晶硅在生產(chǎn)過程中的節(jié)能降耗產(chǎn)生的作用.同時(shí)還分析了當(dāng)前國(guó)內(nèi)廣泛先采用和發(fā)展完善的生產(chǎn)過程優(yōu)化技術(shù)投入到多晶硅生產(chǎn)中去,從而能夠有效的減少多晶硅的制備費(fèi)用.
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多晶硅生產(chǎn)中廢氣的處理方法主要有水洗法、焚燒法和堿液淋洗法.水洗法是多晶硅廠最傳統(tǒng)的廢氣處理方法,是通過大量的噴淋水吸收廢氣中氯化氫和氯硅烷,該方法資源浪費(fèi)量巨大,同時(shí)存在重大的安全隱患,現(xiàn)在已基本不使用.焚燒法是將廢氣進(jìn)行高溫燃燒和水解,得到二氧化硅和鹽酸,該方法因前期投資過大、設(shè)備要求過高、工藝復(fù)雜、運(yùn)行成本高等原因,其應(yīng)用受到限制.堿液淋洗法因其工藝簡(jiǎn)單、投資和運(yùn)行成本較低、處理效果好等優(yōu)點(diǎn),成為目前多晶硅廠最常用的廢氣處理方法.
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