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3 88 ITO 20 21 2 1 1 LCD PDP 10” LCD VGA~XGA 30”[ UXGA/HDTV 200 VGA 30 LCD 100 1000 3000 3 893 ITO ITO 2 ITO 10 ? / 2 ITO 3 ITO 4 200°C ITO ITO 5 ITO ITO 4, 5 6 7, 8 9 ITO 9 9 99.99 ITO ITO 10 7,8 100V 8, 11 ITO ITO ITO ITO ITO ? / 2 < 1000 40~300 15~40 < 10 PDP EL LCD ITO 10 ? / 2 1.5 10 –4 ? 30 μm 200°C 300 2 ~ 450 2 10% 3 90 ITO ITO ITO ITO ITO ZnO In 2 O 3 IZO IZO 2.9 10 -4 ? 0.2 M 500 nm/mi
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