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單級(jí)旋片泵結(jié)構(gòu)與工作原理 時(shí)間 :2008-09-07 來源 :真空技術(shù)網(wǎng)整理 編輯 :真空技術(shù)網(wǎng) 單級(jí)旋片泵只有一個(gè)工作室。泵主要由定子、旋片、轉(zhuǎn)子組成。在泵腔內(nèi)偏心地裝 有轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子槽中裝有兩塊旋片，由于彈簧彈力作用而緊貼于缸壁 (轉(zhuǎn)動(dòng)后還有旋片離 心力 )。轉(zhuǎn)子和旋片將定子腔分成吸氣和排氣兩部分。 圖 5：單級(jí)旋片式真空泵工作原理圖 當(dāng)轉(zhuǎn)子在定子腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)時(shí)周期性地將進(jìn)氣口方面容積逐漸擴(kuò)大而吸入氣體， 同時(shí)逐漸 縮小排氣口一側(cè)的容積將已吸入的氣體壓縮并從排氣閥排出。 排氣閥浸在油里以防止大氣流入泵中。 泵油通過油孔及排氣閥進(jìn)入泵腔， 使泵腔內(nèi)所 有的運(yùn)動(dòng)表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔之間的密封。 雙級(jí)旋片泵的結(jié)構(gòu)與工作原理 時(shí)間 :2008-09-07 來源 :真空技術(shù)網(wǎng)整理 編輯 :真空技術(shù)網(wǎng) 單級(jí)旋片泵 一般極限壓力只能達(dá)到 1.3Pa( 個(gè)別可達(dá) 0.1Pa)，為什么極限
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