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適于納米尺度集成電路技術(shù)的雙柵/多柵MOS器件的研究

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隨著集成電路的發(fā)展,器件尺寸進(jìn)入納米尺度領(lǐng)域,器件性能受到諸多挑戰(zhàn).針對納米CMOS器件存在的問題,從可集成性考慮,基于由上而下途徑,從新型雙柵/多柵器件結(jié)構(gòu)角度介紹新型非對稱梯度低摻雜漏垂直溝道雙柵MOS器件以及新型圍柵納米線MOS器件的研制及特性分析,為下幾代集成電路技術(shù)的器件研究提供良好的思路.

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PVC公斤米重?fù)Q算

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二標(biāo) 0.4 0.6 0.4 0.6 PVC－U管de250 7.89 8.714 57.12 63.09 PVC－U管de200 4.53 5.637 35.05 43.62 PVC－U管de160 2.95 3.622 23.43 28.77 三標(biāo) 0.4 0.6 0.4 0.6 PVC－U管de250 7.89 8.714 PVC－U管de200 4.53 5.637 25 31.11 PVC－U管de160 2.95 3.622 17 20.87 四標(biāo) 0.4 0.6 0.4 0.6 PVC－U管de350 7.89 8.714 146.36 PVC－U管de200 4.53 5.637 41.32 51.42 PVC－U管de160 2.95 3.622 27.54 33.81 PVC－U管de125 1.88 2.219 20.24 五標(biāo) 0.4 0.6 0.4 0.6 PVC

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