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無(wú)菌潔凈實(shí)驗(yàn)室技術(shù)要求-銘珺實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)工程
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何謂潔凈室？ 一、潔凈室之定義 潔凈室 (Clean Room)，亦稱為無(wú)塵室或清凈室。 它是污染控制的基礎(chǔ)。 沒(méi)有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2 里面，潔凈室被定義為具備空 氣過(guò)濾、分配、 優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間， 其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮 微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。 潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、 有害空氣、 細(xì)菌等之污染物排除， 并 將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某 一需求范圍內(nèi)， 而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。 亦即是不論外在之空氣條件如何變化， 其室內(nèi)均 能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品 (如硅芯片等 )所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度， 使 產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造， 此空間我們稱之為潔凈室
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專題概述
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